FL-10光纖激光干涉尺是一種超高精度位置閉環(huán)反饋系統(tǒng)。利用與激光干涉儀相同的測(cè)量原理加上特有的實(shí)時(shí)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)，使整個(gè)系統(tǒng)達(dá)到與激光干涉儀相同的位置反饋精度。

       測(cè)量探頭采用光纖傳導(dǎo)方式與主機(jī)相連使得探頭體積小巧，安裝靈活，同時(shí)斷絕了熱輻射對(duì)測(cè)量精度的影響。經(jīng)過(guò)補(bǔ)償后的位置數(shù)據(jù)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的TTL和SinCos信號(hào)輸出，幾乎可以與任何控制器連接。

       低于300ns的時(shí)間延遲保證了超高的帶寬，滿足超高精度，同時(shí)也得到了比傳統(tǒng)光柵尺更大動(dòng)態(tài)范圍。